德國PI線性促動器和平臺

P-753 LISA線性促動器和平臺

§ 同時為平臺和促動器提供導(dǎo)向

§ 行程達(dá)38 微米

§ 分辨率 0.05 nm

§ 可提供非磁性版本

§ 直接驅(qū)動可實現(xiàn)極其快速的響應(yīng)行為

§ 電容式傳感器帶來線性度

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 掃描顯微鏡

§ 測量技術(shù)

§ 測試程序和質(zhì)量保證

§ 光子

§ 光纖定位

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)*運行1000億個循環(huán)。

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對chong擊和振動不敏感。 它們分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測量帶來精度

運動直接在運動平臺上測量，*不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊憽＿@樣可以實現(xiàn)jia的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應(yīng)控制。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可 實現(xiàn)極低的排氣率。

PICMA直接驅(qū)動可實現(xiàn)更高剛性和動態(tài)

帶直接驅(qū)動的壓電陶瓷納米定位器無機械平移，帶PICMA直接驅(qū)動的壓電陶瓷納米定位器無機械平移。因此可實現(xiàn)快 速響應(yīng)速度，并在壓電陶瓷驅(qū)動范圍內(nèi)實現(xiàn)的剛性和動態(tài)。

訂購信息

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

Physik Instrumente (PI)P-753.1CD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，12微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

Physik Instrumente (PI)P-753.2CD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，25微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

Physik Instrumente (PI)P-753.3CD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，38微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 帶LEMO連接器的版本

Physik Instrumente (PI)P-753.11C LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，12微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

Physik Instrumente (PI)P-753.21C LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，25微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

Physik Instrumente (PI)P-753.31C LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，38微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 線性定位器，真空兼容達(dá)10-9百帕

Physik Instrumente (PI)P-753.1UD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，12微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

Physik Instrumente (PI)P-753.2UD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，25微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

Physik Instrumente (PI)P-753.3UD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，38微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

德國PI線性促動器和平臺